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2023年10月20日

四甲基氢氧化铵溶液表面张力测试

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四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液,在晶片生产中用作CMP(化学机械抛光)预清洗剂,或在半导体领域的光刻工艺中作为显影剂。为了完全润湿晶片表面,通常会在TMAH溶液中加入表面活性剂以降低其表面张力。确保一个稳定且不与表丈量仪器的清洗是必要的工作面几何形状相关的蚀刻过程。

四甲基氢氧化铵(TMA油脂设备H)溶液,在晶片生产中用作CMP(化学机械抛光)预清洗剂,或在半导体领域的光刻工艺中作为显影剂。为了完全润湿晶片表面,通常会在TMAH溶液中加入表面活性剂以降低其表面张力。确保一个稳定且不与表面几何形状相关的蚀刻过程。

动态表面张力(随时间变化的润湿行为)对涂层的均匀性和一致性有着非常重要的影响,静态测量法如吊片和拉环的方法并不适用于这类问题的分析,因为他们测量的是静态表面张力而非动态表面张力。此外,使用静态法测量后,必须对测试设备进行非常复杂的清洗,这会耗费大量的时间。德国SITA公司根据不同的应用领域,提供不同的解决方案以检测槽液配方的表面张力。基于创新的气泡压力法,SITA表面张力仪可以精确、快速的测量动态表面张力,从动态到准静态的表面张力 。

SITA DynoTester是一个非常灵活、轻便的手持式表面张力测试仪,非常适用于工艺过程中质量的监控,可进行现场测量,测试时间短,测试结果能立即与所需值作对比。因此,SITA DynoTester 可对TMAH溶液的润湿性能进行简便快捷的分析。操作简单,无需任何专业经验,仪器的所有功能都可通过仪器上的按键实现。

对于高要求的TMAH溶液,以及需对检测结果进行连续监控的情况,SITA 公司推荐使用过程监控系统--SITA Clean Line ST。这一系统直接集成在工艺过程中,定期测量表面张力,并在设定的范围内自动比较数据,因此我们可在表

面活性剂浓度超出限定值后,在短时间内采取相关处理措施。设备至少可梧州以储存一整年的测试数据,如果需要进行长期数据存储,则可以通过USB 端口将数据传输到计算机。 SITA的表面张力仪可以可靠的监控槽液的质量,为研发和清洗工艺过程建立良好的基础进而获得高质量结果。此外,表面张力检测还能避免过量使用表面活性剂,从而降低生产成本。

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SITA Dynotester 表面张力仪

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